沉默一时的中芯国际（下称“中芯”）武汉12英寸厂，终于有了新动作。《第一财经日报》获悉，3月6日凌晨4点，该厂一期工程首批部分生产设备，搭乘波音747国际货运的包机抵达武汉机场。

“那是光刻机设备，其他相关设备也会陆续运过来。”中芯公关经理缪为夷对本报表示。该设备由荷兰阿斯麦（ASML）生产，它是全球这一领域实力最强的供应商。据悉，设备重达34吨，体积超过160立方米，为进行运输，大约分了23个温控集装箱，享受了超贵宾级待遇和红地毯式的全程护送。事实上，自从它走出荷兰工厂之后，就一直在专用的集装箱内享受特殊服务。

光刻机是全球半导体制造业中最为核心、造价最为昂贵的工艺设备之一。最先进的光刻机价格几乎等同于一架最先进的波音飞机。记者了解到，这台光刻机总价数亿元人民币。

事实上，生产设备一直是半导体制造业中成本的核心。一条新的12英寸生产线，大约造价15亿美元。

此前，由于该厂未能获得尔必达的标准内存芯片订单，在产品规划上一直举棋不定。之后，中芯总裁张汝京改变了产品策略，将该厂定位于非标准存储芯片的生产。2006年，张汝京给出的投产时限是2007年底或2008年初。

武汉厂是中芯第五座生产基地，它由当地政府投资、中芯负责管理与技术支持，这种整合资源、互补合作的模式曾一度被认为是半导体代工业的创新。不过，中芯投资15亿美元的第六座生产基地——深圳工厂，并没有延续这一合作模式，它选择了独立注册全资公司运营。